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广东省深圳市生产SuperView W1信息介绍? 3D形貌轮廓检测仪器

2023-03-31 07:59:00     

  SuperView W1生产厂家之一深圳市中图仪器股份有限公司,目前该公司发布全新3D形貌轮廓检测仪器 ,有效期至2023年05月20日,公司所在地为广东省深圳市,详细地址为深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼。

  SuperView W1简介:

  白光干涉仪可以对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、面形轮廓、腐蚀情况、波纹度、平面度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、磨损情况、表面缺陷、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

  中图仪器SuperViewW13D形貌轮廓检测仪器在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品。

  大多数的场景中,只需检测一个数十、数百微米的区域,但在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中,SuperViewW13D形貌轮廓检测仪器的自动拼接功能,能够快速实现大区域、高精度的测量,还支持自动聚焦功能,只需将Z向调到贴近样品表面(小于镜头工作距离),选择好聚焦范围,即可自动聚焦到样品清晰成像表面并获取干涉条纹。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、3C电子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

技术参数

  产品型号:SuperView W1系列

  产品名称:光学3D表面轮廓仪

  影像系统:1024×1024

  光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

  干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

  XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

  Z轴行程:100mm,电动

  Z向扫描范围:10mm

  Z向分辨率:0.1nm

  水平调整:±5°手动

  粗糙度RMS重复性:0.005nm

  台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

  主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

  生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

  注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

特点

  一是非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件;

  二是测量速度快,不必像探头逐点进行测量;

  三是不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置;

  四是对高深宽比的沟槽结构,可以快速而准确的得到理想的测量结果。

  目前深圳市中图仪器股份有限公司主要所属行业有(仪器仪表 机械);深圳市中图仪器股份有限公司致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。

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